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Anwendung von Röntgenorientierungsinstrumenten bei der Kristallverarbeitung und -detektion

2024-01-23

Bei der Bestimmung der Kristallorientierung geht es darum, die relative Orientierung der unsichtbaren mikroskopischen Kristallachse und des makroskopischen Referenzdatums im Kristall zu bestimmen, allgemein bekannt als Kristallorientierung. Es gibt viele Anwendungen der Kristallorientierung, da der Kristall anisotrope Eigenschaften aufweist. Daher müssen bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen Quarzoszillatoren und andere Kristallkomponenten entsprechend den Anforderungen in eine bestimmte Richtung geschnitten werden. DerKristallorientierungDas Instrument wird verwendet, um die Kristallorientierung mit hoher Geschwindigkeit und Genauigkeit zu bestimmen.


Anwendung des Orientierungsinstruments in der Kristallverarbeitung:

1. Inspektion des fertigen Kristallstabs:

Die Inspektion des fertigen Kristallstabs ist ein wichtiges Glied im Verarbeitungsprozess, und für die Inspektion des fertigen Kristallstabs muss der Index bereitgestellt werden.

crystal orientation  X-ray Orientation Analyzer

                                                        Röntgenorientierungsanalysator


2. Nehmen Sie weitere Messungen vor.

Der Zweck besteht darin, die Winkeländerung an jedem Punkt des Chips zu überprüfen und durch die Winkeländerung indirekt die Spannung, die Korngrenze, die Kristalloberflächenbiegung und andere im Chip vorhandene Probleme rückzumelden.

crystal orientation

3. Planschleifen

Das Endflächenschleifen des Kristallstabes dient der Bearbeitung des nächsten Prozesses.

X-ray Orientation Analyzer


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