HRXRD ist ein leistungsstarkeszerstörungsfreie PrüfungMethode, und ihre Forschungsobjekte sind hauptsächlich Einkristallmaterialien, Einkristall-Epitaxie-Dünnschichtmaterialien und verschiedene niedrigdimensionale Halbleiterheterostrukturen. Es wird häufig zur Messung der Qualität, Dicke, Zellparameter und anderer Strukturparameter epitaktischer Filme von Einkristallen verwendet.
2Theta/Omega-Scanning wird zur Erkennung kohärenter Streuung von Atomschichten parallel zur Oberfläche verwendet und kann zur Bestimmung der Zusammensetzung von In, Out-of-Plane-Zellparametern, Dicke und anderen Parametern verwendet werden.
das 2Theta/Omega-Abtastmuster des GaN (0002)KristallGesicht
offensichtliche Supergitter-Swing-Peaks und dünne Filminterferenzstreifen zwischen Supergitter-Peaks.
RSM ist eine intuitive Methode zur Analyse der Fehlanpassungen zwischen dünnen Filmen und Substraten sowie der Defekte dünner Filme. ModernPersonalwesenXRDDurch die Verwendung von 1D-Detektoren kann die Testgeschwindigkeit erheblich verbessert werden. Die schnelle Erfassung eines RSM dauert nur einige zehn Sekunden.
Das Bild ist das Ergebnis einer Vollspektrumanpassung des 2Theta/Omega-Scans. Es ist ersichtlich, dass die Anpassungskarte gut mit den Testdaten übereinstimmt. Der In-Gehalt ist ein wichtiger Parameter im Wachstumsprozess. HRXRD ist daher ein leistungsstarkes Werkzeug zur Überwachung des Abscheidungsprozesses.
