Das physikalische Phänomen der kohärenten Streuung von Röntgenstrahlen am Kristall wird Beugung genannt, auch wenn es bei einem geringen Winkel auftritt. Wenn eine Phase beispielsweise einen d-Wert von 31,5 A und eine entsprechende Beugung von 2,80° (Cu-Kα) aufweist, ist der 31,5 A-Peak immer noch sehr scharf, wenn die Phase einen hohen Kristallinitätsgrad aufweist. Auch dünne Filme lassen sich herstellenRöntgenbeugungabhängig von der Dicke und Mikrostruktur des Films in einem kleinen Winkelbereich konzentriert. In diesen Fällen stammt die Intensität der Kleinwinkel-Röntgenstreuung der Probe hauptsächlich aus der Beugung der Probe, die als Röntgenwinkelbeugung bezeichnet wird.
Die Röntgenbestrahlung ultrafeiner Pulverpartikel verursacht auch das Phänomen der kohärenten Streuung, das auch im Kleinwinkelbereich auftritt. Die Merkmale des durch die feinen Partikel erzeugten kohärenten Streumusters unterscheiden sich jedoch völlig von den Merkmalen des KleinwinkelsRöntgenBeugungsmuster, das durch den großen Kristallflächenabstand oder den darüber liegenden dünnen Film erzeugt wird.
Kleiner WinkelBeugung wird im Allgemeinen verwendet, um den Abstand sehr großer Kristallflächen oder die Dicke dünner Filme sowie die mikroperiodische Struktur dünner Filme und die Verteilung periodischer Löcher zu bestimmen.