Bei einem Material, dessen Eigenschaften von zweidimensionalen Effekten dominiert werden, unterscheiden sich die Eigenschaften des Materials im zweidimensionalen Maßstab von seinen Eigenschaften im größeren Maßstab. 

Der Maßstab zweidimensionaler Materialien ist in der Richtung außerhalb der Ebene viel kleiner als in der Richtung innerhalb der Ebene. Eine Epitaxieschicht, die eine Einkristallschicht mit der gleichen Struktur auf einem Einkristallsubstrat wachsen lässt oder abscheidet, wird als a bezeichnetEinkristallEpitaxiefilm. Atome oder Moleküle sind auf dem Substratkristall in einer bestimmten, wiederholten Weise im dreidimensionalen Raum angeordnet, wodurch der Kristall einige besondere physikalische und chemische Eigenschaften aufweist. Die Ausrichtung der Filmschicht wird im Allgemeinen durch das Substratmaterial bestimmt, und die Ausrichtung der Kristalle in der oberen Schicht wird durch die Kristalle in der unteren Schicht beeinflusst. Mit anderen Worten: Die Anordnung der Kristalle in der oberen Schicht stimmt so weit wie möglich mit der Anordnung der Kristalle in der unteren Schicht überein, die die Anordnung der Kristalle in einer bestimmten Richtung bestimmt.

Homogene Epitaxie: Das Filmmaterial und das Substratmaterial sind gleichKristallstrukturoder Gitterparameter.

Heteroepitaxie: Die Kristallstruktur oder Gitterparameter des Filmmaterials und des Substratmaterials weisen große Unterschiede auf.

Strukturtyp der Folie: