Beweidung bedeutet, dass dieRöntgenwird dem Film in einem sehr kleinen Einfallswinkel (< 5°) ausgesetzt, was die Eindringtiefe in den Film stark verringert. Gleichzeitig vergrößert der größere niedrige Einfallswinkel die Röntgenbestrahlungsfläche auf der Probe und erhöht das an der Beugung beteiligte Volumen der Probe. In diesem Artikel wird die Rolle von GID bei der Strukturanalyse dünner Filme vorgestellt.
Beispiel: GID-Test für einschichtige Folien
In diesem Beispiel handelt es sich bei der Probe um einen 14 nm dicken polykristallinen RuO2-Film, der auf einem (100) monokristallinen Siliziumsubstrat hergestellt wurde. Daher ist das Signal der Dünnschichtprobe im herkömmlichenXRDDas Muster wird durch das Signal des Si-Einkristalls maskiert. Obwohl im vergrößerten Bild die Beugungsspitzen des dünnen Films zu sehen sind, ist das Signal sehr schwach. Das GID-Spektrum der Probe bei einem Einfallswinkel von 0,3 Grad ist in Abbildung 2 dargestellt. In der Abbildung ist kein Signal des Si-Einkristallsubstrats zu sehen, und das Filmsignal ist offensichtlich.
Abb. 1
Abb. 2