Zu den wesentlichen Komponenten eines Röntgendiffraktometers gehören ein Röntgengenerator und ein Röntgendetektor. Wenn der einfallende Röntgenstrahl auf die Probenoberfläche gerichtet wird, wird der Röntgendetektor gemäß dem Beugungsgesetz positioniert, um gleichzeitig die Intensität und den Beugungswinkel θ aufzuzeichnen. Die Kristallebene woRöntgenbeugungauftritt, ist immer parallel zur Probenoberfläche.

Es ist wichtig zu beachten, dass die vom X-Generator erzeugte Röntgenquelle eine Vielzahl von Röntgenstrahlen mit unterschiedlichen Wellenlängen aussendet. Um die Messgenauigkeit zu gewährleisten, sind daher moderneRöntgendiffraktometerOft werden Monochromatoren oder Filter zwischen der Probe und dem Röntgendetektor eingebaut, um qualitativ hochwertige Beugungsmuster zu erhalten.

Die Wahl der Röntgenwellenlänge wird stark vom Targetmaterial des Röntgengenerators beeinflusst. Zu den häufig verwendeten Targets gehören Cu, Co, Fe, Cr, Mo und W. Das Cu-Target ist für die meisten Proben außer diesen weitgehend geeignet enthält aufgrund seiner hohen Stabilität und Kompatibilität Cu und Fe. Für die Untersuchung von Fe-Proben werden das Co-Target mit Monochromator und das Fe-Target mit Filter empfohlen. Das Cr-Target bietet außerdem eine hervorragende Kompatibilität zum Testen der meisten Proben. Das Mo-Target eignet sich aufgrund seiner spezifischen Wellenlänge besonders für die quantitative Analyse von Austenit. Schließlich bietet das W-Ziel kontinuierliche ErgebnisseRöntgenIntensität und wird häufig für die Laue-Fotografie von Einkristallen verwendet.