Im ParallelstrahlRöntgenbeugungAnalyse kann ein multikapillarer kollimierender optischer Kristall verwendet werden, um einen hochintensiven parallelen angeregten Röntgenstrahl zu erzeugen, der zu einer sehr hohen Röntgenintensität auf der Probenoberfläche führt. Die Definition der Röntgenbeugung lautet

Bei der parallelen Strahlgeometrie kann sich die Probenposition ändern, und das XRD-System ist nicht mehr dadurch eingeschränkt, dass der Abstand zwischen der Röntgenquelle und der Probe dem Abstand zwischen der Probe und dem Detektor entspricht. Die Flexibilität der Geometrie lässt sich an bestehende Fertigungsbedingungen anpassen und für ein breiteres Spektrum an Probenformen und -größen nutzen. ParallelstrahlXRDist nicht nur unempfindlich gegenüber Fehlern im Zusammenhang mit der Probenverschiebung; Praktisch alle anderen bekannten instrumentellen Fehlerfunktionen werden ebenfalls eliminiert.

Parallelstrahl-XRD mitRöntgenOptische Kristalle wurden erfolgreich in der Dünnschichtanalyse und Probentexturbewertung eingesetzt.