Dermultifunktionaler Probentischist ein hochintegriertes Versuchsgerät, das hauptsächlich in den Bereichen Materialwissenschaft, Halbleiterherstellung, Elektronenmikroskopieanalyse usw. eingesetzt wird. Seine Hauptmerkmale sind modulares Design, multifunktionale Integration und hochpräzise Steuerung.
eins、 Die Kernfunktionen und strukturellen Merkmale dermultifunktionaler Probentisch
1. Modularer Aufbau vonmultifunktionaler Probentisch:
Durch verschiedene Modulkombinationen werden mehrere Funktionen erreicht, wie etwa ein selbstdrehendes Kupplungsmodul (Geschwindigkeit 0–20 Umdrehungen pro Minute, mit Nullbegrenzung), ein Hubmodul (Standardhub 50 mm/100 mm, anpassbar), ein Heizmodul (Maximaltemperatur bis zu 1100 °C) usw.
Unterstützt den Anschluss einer DC/RF-Stromversorgung, um den Anforderungen des Dünnschichtwachstums, der Probenreinigung oder der Bildung von Hilfsfilmen gerecht zu werden.
2. Hochpräzise Steuerung und Sensoren fürmultifunktionaler Probentisch:
Ausgestattet mit Temperatur-, Druck- und anderen Sensoren, Echtzeitüberwachung der Umgebungsparameter der Probe und Anpassung von Heizung, Kühlung und anderen Vorgängen über das Steuerungssystem.
Einige Modelle verfügen über integrierte pneumatische Prallmodule zur einfachen Bedienung.
3. Kompatibilität und Anpassungsfähigkeit vonmultifunktionaler Probentisch:
Geeignet zum Testen unregelmäßiger Proben wie Spurenpulver, Plattenmaterialien und großformatiger Proben, wobei die durch herkömmliches Schneiden oder Schleifen verursachten Schäden vermieden werden.
Unterstützt Probengrößen unter 6 Zoll und anpassbare Flanschschnittstellen.
zwei、 Anwendungsgebiete des multifunktionalen Probenständers
1. Dünnschichttechnologie fürmultifunktionaler Probentisch: wird für fortschrittliche Technologien zum Wachstum dünner Schichten wie MBE (Molekularstrahlepitaxie), PLD (gepulste Laserabscheidung), Magnetronsputtern sowie Substratglühen, Hochtemperaturentgasung und andere Prozesse verwendet.
2. Elektronenmikroskopische Analyse der multifunktionalen Probenbühne:
Kaltfeld-Rasterelektronenmikroskop: Befestigen Sie die Probe mit langen Schrauben und stellen Sie die Leitfähigkeit mit kompatiblen Messingscheiben ein.
TEM/FIB-System: integriert In-situ-Delamination, Nanosondentests und TEM-Analyse, um Verunreinigungen oder Schäden durch Probentransfer zu vermeiden.
3. Fehleranalyse der multifunktionalen Probenbühne: Integration von Atomstellenentfernung, elektrischen Tests und Analyseprozessen in FIB- und TEM-Systemen zur Verbesserung der Erfolgsrate und Effizienz.
drei、 Technische Vorteile vonmultifunktionaler Probentisch
1. Integration und Automatisierung eines multifunktionalen Probentisches: reduziert die Komplexität manueller Bedienung durch modulares Design, unterstützt die Gesamtbewegung und präzise Positionierung in einer Vakuumumgebung.
2. Hohe Zuverlässigkeit des multifunktionalen Probentisches: Verwendung von Standardflanschschnittstellen (wie CF50/CF40), um Abdichtung und Kompatibilität zu gewährleisten.
3. Anpassung des multifunktionalen Probentisches: Heizmaterial, Hublänge und Probenhaltertyp (z. B. 3-Backen-Bajonetttyp, Bodengabeltyp) können je nach Bedarf ausgewählt werden.
Der multifunktionale Probentisch ist ein Schlüsselinstrument für die Materialforschung und Mikroanalyse und wird häufig in Röntgenbeugungsinstrumenten eingesetzt. Sein Wert liegt in der Funktionsintegration, der Flexibilität im Betrieb und der Anpassungsfähigkeit an komplexe experimentelle Anforderungen. Die spezifische Auswahl muss die entsprechenden Module und Leistungsparameter an die jeweiligen Anwendungsszenarien (z. B. Dünnschichttechnologie, Elektronenmikroskopie oder Fehleranalyse) anpassen.
