Am Beispiel der Abscheidungsskalierung stellt dieser Artikel vor, wie man Röntgendiffraktometer für die qualitative Phasen- und quantitative Analyse verwendet.

Die Anwendung neuer Technologien und neuer Produkte wie 5G, Big Data und künstliche Intelligenz wird eine enorme Nachfrage auf dem Halbleitermarkt mit sich bringen, und die weltweiten Ausgaben für Halbleiterausrüstung sind in einen Aufwärtszyklus eingetreten.

Hochauflösendes XRD (HR-XRD) ist eine gängige Methode zur Messung der Zusammensetzung und Dicke von Verbindungshalbleitern wie SiGe, AlGaAs, InGaAs usw.

Röntgendiffraktometer (XRD) können in Röntgenpulverdiffraktometer und Röntgeneinkristalldiffraktometer unterteilt werden. Das grundlegende physikalische Prinzip beider ist dasselbe.

XRD ist ein Forschungsmittel, bei dem es sich um die Beugung eines Materials mittels Röntgenbeugung handelt, um sein Beugungsmuster zu analysieren und Informationen wie die Zusammensetzung des Materials, die Struktur oder Form von Atomen oder Molekülen im Inneren des Materials zu erhalten.

Die Röntgenbeugung unter streifendem Einfall (GI-XRD) ist eine Art Röntgenbeugungstechnik, die sich vom herkömmlichen XRD-Experiment hauptsächlich durch die Änderung des Einfallswinkels der Röntgenstrahlen und der Ausrichtung der Probe unterscheidet.

Röntgenbeugung (XRD) ist derzeit eine leistungsstarke Methode zur Untersuchung der Kristallstruktur (z. B. der Art und Ortsverteilung von Atomen oder Ionen und ihrer Gruppen, Zellform und -größe usw.).

Basierend auf dem Braggschen Gesetz kann die In-situ-Röntgenbeugung (XRD) verwendet werden, um die Phasenänderung und ihre Gitterparameter in der Elektrode oder der Grenzfläche zwischen Elektrode und Elektrolyt während des Lade-Entlade-Zyklus von a in Echtzeit zu überwachen Batterie.

Röntgenbeugung, durch die Röntgenbeugung eines Materials, die Analyse seines Beugungsmusters, um die Zusammensetzung des Materials, die Struktur oder Form der Atome oder Moleküle im Inneren des Materials und andere Forschungsmittel zu ermitteln.

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